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JEDEC JESD35-A-2001  薄电介质的Wafer-Level测试程序

标准编号:JEDEC JESD35-A-2001
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中文标准名称:薄电介质的Wafer-Level测试程序
英文标准名称:procedure for the wafer-level testing of thin dielectrics
语言:英文版,中文版
发布日期:2001-04-01
实施日期:2001-04-01
标准类别:电子元件工业联合会JEDEC
中国标准文献分类法(中标分类CCS):电子学 >> 半导体器件
标准页数:47
标准简介:The thin dielectric integrity of MOS devices and circuits is an important reliability concern. Historically, thin oxide reliability has been driven by oxide defects. In general the intrinsic oxide lifetime is much longer than the use requirements, but defects can significantly reduce oxide lifetime. The procedures described herein were developed to estimate the integrity of a thin oxide and as a tool for driving constant improvement in the thin oxide process.
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添加时间:2012/11/23
 
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