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I.S. EN 62047-11-2013  半导体器件 - 微机电设备 - 第11部分:试验方法的独立使用材料线性热膨胀的微机电系统系数( IEC 62047-11 : 2013 ( EQV ) )

标准编号:I.S. EN 62047-11-2013
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中文标准名称:半导体器件 - 微机电设备 - 第11部分:试验方法的独立使用材料线性热膨胀的微机电系统系数( IEC 62047-11 : 2013 ( EQV ) )
英文标准名称:Semiconductor Devices - Micro-electromechanical Devices - Part 11: Test Method for Coefficients of Linear Thermal Expansion of Free-standing Materials for Micro-electromechanical Systems (iec 62047-11:2013 (eqv))
标准状态:确认有效
语言:英文版,中文版
标准类别:爱尔兰国家标准I.S.
中国标准文献分类法(中标分类CCS):
中国标准文献分类法(中标分类CCS):电子学 >> 半导体器件 >> 其他半导体器件
标准页数:25
标准简介:Describes the test method to measure the linear thermal expansion coefficients (CLTE) of thin free-standing solid (metallic, ceramic, polymeric etc.) micro-electro-mechanical system (MEMS) materials with length between 0,1 mm and 1 mm and width between 10 [mu]m and 1 mm and thickness between 0,1 [mu]m and 1 mm, which are main structural materials used for MEMS, micromachines and others.
文件格式:纸质版或者PDF电子版(用Acrobat Reader打开)或Word版本doc格式
PDF格式 I.S. EN 62047-11-2013 半导体器件 - 微机电设备 - 第11部分:试验方法的独立使用材料线性热膨胀的微机电系统系数( IEC 62047-11 : 2013 ( EQV ) )
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文件大小:634 KB
添加时间:2015/02/19
 
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